MKS旗下以色列Ophir激光测量一体化解决方案

MKS旗下以色列Ophir激光测量一体化解决方案

在半导体、工业激光加工、生命科学、科研等领域，激光器的功率、能量与光束状态监测，是工艺管控的重要环节。Ophir隶属于MKS集团，品牌研发基地位于以色列耶路撒冷，专注激光计量相关产品研发与制造，产品可覆盖从飞瓦级微弱光源到数百千瓦高功率激光的测量需求，能量测量范围为皮焦耳至数百焦耳，适配多波段、多类型激光器，为不同场景提供激光功率、能量、光束轮廓测量方案。

Ophir产品线概况

依据Ophir官网产品资料，品牌产品线主要分为激光功率能量传感器、光束轮廓分析设备、台式测量主机，同时配套PC端StarLab测量软件与OEM定制模块，适配实验室研发、产线在线检测、设备集成等多种使用场景，适用行业包含半导体、增材制造、激光焊接、医疗与生命科学等领域。

工业产线高功率激光检测方案

面向工业自动化产线高功率激光检测场景，Ophir提供Helios Pro工业激光功率传感器与Ariel紧凑型工业功率计。Helios Pro支持Profinet、EtherNet/IP、EtherCAT工业总线通讯，可接入自动化产线控制系统，用于在线监测激光输出参数，满足工业连续生产的数据采集需求。Ariel专为狭小密闭空间设计，例如金属增材制造成型仓内部，最高可测量8kW激光，无需水冷或风冷，自带显示面板、本地数据记录功能，防护等级IP62，支持蓝牙、USB连接，可搭配StarViewer移动端软件查看测量数据，适合设备调试、产线质检环节使用。

非接触光束质量监测方案

光束质量监测方面，Ophir BeamWatch系列采用非接触式测量原理，测量过程无需拦截激光光束，不会对原有光路造成干扰，无功率上限，可采集焦点位置、光斑尺寸、M²因子、能量分布等光束参数。BeamWatch Integrated面向自动化产线开发，可实现自动化测量，测量数据通过接口输出，适合汽车激光焊接、动力电池加工等连续生产场景，可在工件上下料阶段完成光束检测，辅助工艺状态评估。

实验室与医疗激光标定测量方案

针对实验室、医疗激光标定等精密测量场景，Ophir热电、光电二极管、热释电传感器，可搭配Centauri、Nova系列台式测量主机使用。Centauri配备7英寸彩色触控屏，兼容Ophir全系列标准传感器，支持多通道测量、脉冲数据记录，配备USB、以太网、RS232接口，可对接StarLab软件完成数据存储、图表分析与批量日志导出，适用于激光器研发、产品出厂测试工作。Ophir以色列校准实验室拥有ISO/IEC 17025认可资质，测量结果可溯源至NIST、PTB等国际计量标准，可用于医疗激光设备校验等需要计量溯源的应用场景。

OEM设备集成方案

针对激光设备原厂集成需求，Ophir可提供OEM定制传感器方案，可单独提供传感单元，或配套信号处理模块，输出模拟量或数字信号，集成至激光整机内部，实现设备自带激光性能监测能力，便于设备厂商做系统闭环控制。

方案总结

整套Ophir激光测量方案，可实现离线实验室检测与工业在线监测结合，统一采集功率、能量、光束轮廓多维度数据，配套专业软件完成数据记录与分析。依托MKS光子学产业链，Ophir提供配套校准与技术支持服务，帮助科研机构与制造企业完成激光工艺监测，完善测量数据溯源管理。